一是激光光谱的光源；
二是光谱仪系统，使不同波长的光聚焦在仪器上的特定位置。
三是用置于焦点上的探测器来量光的强度。近代的光谱仪大都采用微型计算机处理实验结果。
它是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器。它密封在一个温度稳定的恒温机箱里，设计小巧，操作简易，设备的搬运和操作只要一个人就能完成。
它具有样品用量少，应用范围广且快速，灵敏和选择性好等特点。
ICP光谱仪包括以下几个主要部分：
1、入射狭缝: 在入射光的照射下形成光谱仪成像系统的物点。
2、准直元件: 使狭缝发出的光线变为平行光。该准直元件可以是一独立的透镜、反射镜、或直接集成在色散元件上，如凹面光栅光谱仪中的凹面光栅。
3、色散元件: 通常采用光栅，使光信号在空间上按波长分散成为多条光束。
4、聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狭缝的像，其中每一像点对应于一特定波长。
5、探测器阵列：放置于焦平面，用于测量各波长像点的光强度。该探测器阵列可以是ccd阵列或其它种类的光探测器阵列。
