英福康 CDG025D电容膜片式真空计

Inficon CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计，设计用于在严酷的制造工具环境中，具有稳定的性能。先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点。如：一键调零的功能和设点调整；抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性；以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命。独特的传感器屏蔽 (专利申请) 保护真空计防止过程污染， 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性，长期稳定性和温度补偿能力。 CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准。

瑞士Inficon英福康真空计  CDG025D电容膜片式真空计优势：

全量程范围从100毫乇 … 1000乇

加电源后快速稳定性

从大气压的快速恢复性

抗腐蚀的陶瓷传感器

卓越的长期讯号稳定性

温度补偿

传感器有防污染保护

一键调零功能

宽范围电源

两个设点 (可选)

RS232 接口 (可选)

瑞士Inficon英福康真空计  CDG025D电容膜片式真空计用途：

半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD

数据贮存和显示器制造设备

工业真空设备

一般高精度压强测量

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