原子发射光谱法具有以下优点。
(1)多元素同时检测能力 每一个样品一经激发后，不同元素都发射特征光谱，这样环境监测中就可同时测定多种元素。
(2)分析速度快 环境监测若利用光电直读光谱仪，可在几分钟内同时对几十种元素进行定量分析。分析试样不经化学处理，固体、液体样品都可直接测定。
(3)选择性好 每种元素因原子结构不同，发射各自不同的特征光谱。在分析化学上，这种性质上的差异，对于一些化学性质极相似的元素具有特别重要的意义。
(4)检出限低 一般光源可达0．1～10ug／g，绝对值可达0.01～1ug，新光源电感耦合高频等离子体(ICP)检出限可达ng／cm2级。
(5)准确度较高 一般光源相对误差约为5％～10％，ICP相对误差可达1 %以下。
(6)试样消耗少
(7)ICP光源校准曲线线性范围宽 可达4～6个数量级，这样可测定元素各种不同含量(高、中、微含量)。一个样品同时进行多元素分析，又可测定各种不同含量。
原子发射光谱法的缺点是：常见的非金属元素如氧、硫、氮、卤素等谱线在远紫外区，目前一般的光谱仪尚无法检测；还有一些非金属元素，如P、Se、Te等，由于其激发电位高，故检测灵敏度较低。
