比表面仪是研究多孔化合物或多孔材料比表面积以及孔径分布的仪器。比表面仪对真空度的要求很高，因此需要经常查真空系统的运行以及室内温湿度情况，并针对真空系统进行维护。仪器的真空度与冷阱、油泵有关，维护时需要特别注意这两个方面。
1.每天补满冷阱用液氮杜瓦瓶的液氮，确保冷阱系统和样品分析始终处于液氮温度下。
2.每周清洗一次杜瓦瓶，以除去瓶内冰块和灰尘等杂质，并清洗烘干冷肼管和液氮保温桶。
3.当油泵润滑油液下降到刻度下限时应加油，大约一到两年加一次。
4.油泵的油气阱中氧化铝球定期更换，以氧化铝球变颜色为准(超过一半以上变色需更换)，新氧化铝球使用前要烘干(350℃下烘4小时)，不要使用已用过的氧化铝球。
5.配备抽湿机及空调来保证仪器室温湿度。
6.仪器如果短时间不用，不用关机，以保持内部管路的真空度。如果长时间不用则需要按照顺序关机，以保证仪器正常使用寿命。
7.样品在进行脱气前，可以保存在干燥器内或者在烘箱内恒温保存，减少水汽和低沸点杂质的吸入。
8.仪器还需配置不间断电源，保证出现紧急断电时有时间进行正常关机。
9.定期擦拭仪器保持仪器表面洁净。
